激光剝蝕技術是一種被廣泛認可的固體直接進樣化學分析技術。在大多數情況下，不需要樣品制備，任何固體樣品都可以在幾分鐘內分析元素和同位素含量。檢測剝蝕質量的主要方法有兩種：測量樣品表面光誘導等離子體發射的光子，或將剝蝕的氣溶膠引入氣流中，并將其輸送至二次光源。激光誘導擊穿光譜（LIBS）是基于測量等離子體中的發射光。電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）或電感耦合等離子體發射光譜（ICP-OES）方法基于剝蝕氣溶膠的傳輸。